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晶圆加工

晶圆加工工艺:磁性薄膜膜堆加工及测试

序号

项目

1

TMR/GMR膜堆

2

Singulus ROTARIS

3

TL-S508RD退火炉

4

CIPT RA/MR单点测量

5

CIPT Rs-H loop测量

6

MOKE 单点测量

7

MOKE 9点MAP测量

8

磁性SEM观测

9

AFM测量

10

MFM测量